Key points are not available for this paper at this time.
이 논문은 1 Hz 이하의 주파수에서 실리콘 기반 RF MEMS 커패시티브 스위치의 웨이퍼 상 커패서턴스 측정을 제공합니다. 매우 낮은 주파수(0.01-10 Hz)에서 측정된 커패시턴스-전압(C-V) 곡선은 일반적으로 측정되고 잘 이해된 고주파 C-V 곡선과 특히 풀인 및 풀아웃 전압 근처에서 차이를 보입니다. 이러한 동작은 최상 전극의 기계적 작용으로 설명됩니다. 전기기계적 변환기 모델을 사용하여 연구 중인 장치의 기계적 및 전기적 동작 간의 결합을 표현합니다. 기계적 작용과 공기 감쇠는 vibrometer 측정, FEM 모델링 및 저압 실험을 통해 확인된 바와 같이 낮은 측정 주파수에서 중요한 역할을 합니다.
Wang et al. (수요일) 이 질문을 연구했습니다.
Synapse has enriched 5 closely related papers on similar clinical questions. Consider them for comparative context: