전자 빔 리소그래피용 실크 기반 감광 소재에 대해서 다중 스케일 시뮬레이션을 이용하여 분석하였다. 양자역학 계산을 통해 실크 티로신 아미노산에 대한 광 반응성을 분석하여 193 nm 광원에 반응하여 C2-C5 결합이 분해되는 결과를 도출하였다. 양자역학 계산의 결과를 분자동역학 분석에 적용하여 광반응 전과 후에 대한 실크 기반 감광 소재를 모델링하였다. 광원에 대한 반응 전과 후에 대해서 베타시트의 비율이 20% 이상 감소하는 것을 확인하였고, 반응 전의 감광 소재에 대한 기계적 물성은 4.75GPa로 계산되었다. 이러한 다중 스케일 전산 기법을 통해 전자 빔 리소그래피용 실크 기반 감광 소재에 대한 광 반응성, 해상도 및 분해능 성능을 예측하여 감광 소재 설계에 대한 적용 범위를 넓혔다.
Park et al. (Wed,) studied this question.