生体医療機器用のICピエゾ抵抗型圧力センサー

生体医療機器用の薄型ダイアフラムピエゾ抵抗型圧力センサーが、モノリシック集積回路（IC）技術を用いて開発されました。このデバイスにはピエゾ抵抗効果が選ばれており、圧力の線形関数として観察可能な抵抗変化を提供し、低い応力レベルでも測定可能です。ダイアフラムは応力を増幅するデバイスとして使用されており、その増幅率はダイアフラムの直径と厚さの比の二乗に比例します。ダイアフラム内の圧力によって引き起こされる応力は、適切に配置されたピエゾ抵抗器によって感知され、ブリッジを形成するために相互接続されています。