高解像度センサー作製に向けたマルチモーダル電気流体力学（EHD）プリンティングの進歩：メカニズム、材料、および応用

マイクロエレクトロメカニカルシステム（MEMS）および製造業の急速な発展に伴い、センサーのインテリジェント化、小型化、フレキシブル化に向けた動向が大きな注目を集める一方で、高解像度パターニングや大規模生産に対する要求がより高まっています。しかし、従来の製造技術では高解像度化や多機能集積化を達成する上で著しい限界があります。電場と流体力学の相乗効果を利用する電気流体力学（EHD）プリンティング技術は、マイクロ・ナノメートルジェットの形成と堆積を精密に制御することを可能にします。超高解像度、幅広い材料適合性、制御可能な3次元構造形成能を備えており、センサーのインテリジェント、小型、フレキシブルな集積化に向けた革新的なソリューションを提供します。本論文では、3つのEHDプリンティングモード（EHDジェットプリンティング、エレクトロスプレー、エレクトロスピニング）のメカニズムと応用を系統的にレビューします。さらに、金属ナノ粒子、導電性高分子、炭素系材料、圧電セラミックスなど、EHDプリンティングに適した材料のプリンティングにおける進歩について詳述します。加えて、これら3つのEHDプリンティングモードに基づくガス、温度、湿度、圧電、歪みセンサーの応用展開を要約し、感度、応答速度、環境適応性における利点を浮き彫りにします。また、低効率の課題や、マルチノズル連携、ノズル構造の最適化、ロール・ツー・ロール統合製造、インテリジェントなプロセス制御といった今後の開発方向性についても検討します。最後に、簡潔なまとめと今後の研究に向けた展望を提示します。