ZnO薄膜厚度对声表面波模式和声流的影响

在沉积于Si衬底上的ZnO薄膜上制备了声表面波（SAW）器件。研究了ZnO薄膜厚度对SAW波模式和共振频率的影响。检测到了Rayleigh波和Sezawa波，其共振频率随薄膜厚度的增加而降低。与Rayleigh模式波相比，Sezawa波具有高得多的声速和更大的信号振幅。已在压电薄膜SAW中实现了用于混合的声流。Sezawa波在声流方面具有更高的效率，因此在微流控应用中极具前景。