Secondary Ion Mass Spectrometry

原理的には，イオンビームを試料に照射して，表面から発生する二次イオンを質量分析するものがSIMSである。イオン照射量が少ないTOF-SIMSは，絶縁物の測定が容易であり，D-SIMSと違い有機化合物の化学構造をかなり保ったままイオン化できるので，有機化合物の同定が容易であるという特徴をもつ。表面測定データの解析には，定性分析を目的としたスペクトル解析と構成物質の面内分布を解析するイメージング解析があり，これらはどちらも生データから再構成できる。未知試料の場合は，PositiveとNegative両方のスペクトルを測定する。