Analysis of Slider Motion Error on 3-PUU Parallel Coordinate Measuring Maching

摘要： 3-Puu并联坐标测量机中滑块运动误差是关键的误差源，必须予以修正。定性分析滑块运动误差对万向铰链中心位置和光栅读数的影响，建立基于滑块运动直线度的仪器误差模型。将双频激光干涉仪获取的运动直线度误差数据进行拟合，并以此为基础定量分析此项误差对仪器总误差的贡献，为完成该项误差的修正奠定了基础，这对于仪器总体精度的提高及后续测量机结构参数的标定具有重要的意义和价值。