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Diese Arbeit präsentiert unseren jüngsten Fortschritt in der Entwicklung eines Si-Draht-Wellenleitersystems für Mikrophotonikgeräte. Der Si-Draht-Wellenleiter verspricht eine Größenreduktion und hochdichte Integration optischer Schaltungen aufgrund seiner starken Lichtkonfination. Allerdings waren große Verbindungs- und Ausbreitungsverluste ernsthafte Probleme. Wir haben diese Probleme durch die Verwendung eines Punktgrößenwandlers und die Verbesserung der Mikrobearbeitungstechnologie gelöst. Infolgedessen wurden Ausbreitungsverluste von nur 2,8 dB/cm für einen 400/spl mal/200 nm Wellenleiter und ein Kopplungsverlust von 0,5 dB pro Verbindung erzielt. Da wir über die Technologien zur Herstellung komplexer, praktischer optischer Geräte mit Si-Draht-Wellenleitern verfügen, haben wir sie verwendet, um Mikrophotonikgeräte wie einen Ringresonator und einen Gitterfilter herzustellen. Die von uns hergestellten Geräte zeigen aufgrund der Mikrobearbeitung mit einer Präzision von wenigen Nanometern hervorragende Eigenschaften. Wir haben auch gezeigt, dass Si-Draht-Wellenleiter großes Potenzial für den Einsatz in nichtlinearen optischen Geräten haben.
Tsuchizawa et al. (Sat,) haben diese Frage untersucht.