Spektrale Zusammensetzung von Niedrigkohärenz-Interferogrammen bei hohen numerischen Aperturen

Interferenzsignale in der Kohärenzscanning-Interferometrie bei hohen numerischen Aperturen und schmalbandiger Beleuchtung sind spektral verbreitert. Dies ermöglicht eine Phasenanalyse innerhalb eines spektralen Bereichs, der viel breiter ist als die spektrale Verteilung des von der Lichtquelle emittierten Lichts. Folglich können je nach verwendeter Wellenlänge für die Phasenanalyse der Interferenzsignale unterschiedliche Oberflächenmerkmale aufgelöst werden. Darüber hinaus beeinflusst die Oberflächentopographie selbst die spektrale Zusammensetzung der Interferenzsignale auf unterschiedliche Weise. Signale, die mit geneigten Oberflächen oder Stufenhöhenstrukturen verbunden sind, zeigen besondere spektrale Eigenschaften. Daher ermöglicht die spektrale Amplituden- und Phasenanalyse ein besseres Verständnis der zugrunde liegenden physikalischen Mechanismen und gibt Hinweise, wie die Messgenauigkeit verbessert werden kann.