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Un spectromètre compact sur silicium est proposé et démontré avec une ultrahautes résolution. Il se compose d'un résonateur ultra-haut-Q thermiquement accordable visant une ultrahautes résolution et d'un réseau de résonateurs large bande pour atteindre une fenêtre de travail élargie. Le présent spectromètre sur puce a une empreinte aussi compacte que 0,35 mm², et est réalisé avec des procédés de fonderie standard multi-projets. Les résultats de mesure montrent que le spectromètre sur puce a une résolution ultrahautes ∆λ de 5 pm et une large fenêtre de travail de 10 nm. La plage dynamique définie comme le ratio de la fenêtre de travail et de la résolution de longueur d'onde est aussi grande que 1940, ce qui est le plus élevé pour les spectromètres dispersifs sur puce à notre connaissance. Le présent spectromètre sur puce haute performance a un grand potentiel pour la mesure de spectre à haute résolution dans les applications de détection de gaz, de surveillance alimentaire, d'analyse de santé, etc.
Zhang et al. (Samedi,) ont étudié cette question.