退火处理对BaSrTiO3薄膜电导率和孔隙率的影响

Ba0.5Sr0.5TiO3 (BST) 薄膜因其独特的介电和铁电特性而受到广泛关注，使其成为各种电子应用的有前景的候选者。BST 薄膜的电气特性受其结构特征的强烈影响，包括孔隙率。通过 XRD 探测薄膜的相和图案，并使用 FESEM 技术检查薄膜的形态表面。介电常数随着频率的增加而降低，400、500 和 700 ℃ 时的介电常数值分别为 174、223 和 333。薄膜的电导率随着频率的增加而提高（98、124 和 167 Ω）。