自其发明以来,磁控溅射(MS)经历了显著的进展。本文回顾了MS的发展,涵盖其基本原理、各种技术(包括反应溅射、脉冲磁控溅射和高功率脉冲磁控溅射)以及其广泛的工业应用。在详细描述高沉积速率、材料选择的多样性以及对膜特性精确控制的优势时,本文还讨论了固有的挑战,如靶材利用率低和等离子体不稳定性。文章重要部分聚焦于MS在汽车工业中的关键作用,强调其在美观和功能目的上创造耐用、高质量涂层的用途。同时,还讨论了从传统电镀方法向更环保的MS技术过渡,强调对可持续制造过程日益增长的需求。文章最后总结了磁控溅射技术的主要进展、剩余挑战和未来潜在趋势,特别是在高科技工业领域。
Myśliwiec等(周二)研究了这个问题。