通过复杂幅度调制全息飞秒激光实现高质量微图案打印

摘要 全息飞秒激光打印技术因其高效性和灵活性被广泛应用于微图案的制造。然而，散斑噪声和能量波动限制了打印结构的质量。本研究提出了一种改进的复杂幅度调制全息飞秒激光打印方法，用于高质量微图案的制造。全息光场分为信号区域和周围噪声区域。为提高激光均匀性，在信号区域应用相位调制，以消除由不受约束的相位干涉引起的散斑噪声，并在信号区域引入加权幅度调制，以提高计算精度。为了精确控制激光能量密度，在噪声区域引入加权能量效率调制，以分散超过材料损伤阈值的能量。在激光均匀性和能量密度的协同控制下，高质量的微图案结构得以高效打印。采用拼接打印方法制造了高质量的毫米级多焦点透镜，具有微米级精度，展示了微图案加工的潜力及制造功能设备（如二元光学）的可能性。