基于极点配置的变增益观测器用于精密运动平台：解决干扰与噪声的权衡

光刻过程中准确的图案转移需要极高的定位精度。然而，各种外部干扰作用于晶圆平台可能导致定位误差。为了解决这个问题，本文提出了一种基于极点配置的变增益扩展状态观测器（VGESO）。首先，分析了传统扩展状态观测器（ESO）在精密运动系统中面临的干扰抑制与噪声衰减之间的权衡。然后，介绍了一种改进的ESO结构，通过两个与极点相关的参数自适应调整观测器增益。这些参数能够有效抑制其指定范围内的低频干扰和高频测量噪声。最后，仿真结果验证了所提方法的有效性和优越性能。