通过膜偏转实验对形状记忆合金薄膜的机械特性进行表征

本研究探讨了使用膜偏转实验（MDE）结合有限元分析（FEA）测量形状记忆合金（SMA）薄膜的拉伸性能的可行性。对549nm厚的Ni53.7Ti46.3薄膜进行的单轴拉伸测试和膜偏转实验结果的应力-应变曲线高度一致。研究表明，降低膜的弯曲刚度可以提高测量精度。FEA进一步揭示了在马氏体转变前后材料特性可以以合理的准确性测量。此外，残余应力也得到了可靠捕捉，并系统分析了马氏体转变对局部应力分布的影响。总体而言，这些发现表明MDE提供了一种稳健的方法来评估SMA薄膜的拉伸性能，并预计该方法将在未来研究中加速合金薄膜的快速机械表征。