半球形电子分析仪中内部分析仪散射的定量模型及其在改善传输函数准确性方面的应用

摘要：在低通能量操作时，半球形电子分析仪（HEA）内部散射是常见的，此时X射线光电子能谱（XPS）和Auger电子能谱实验的仪器分辨率达到最佳。此类散射对测量贡献了外部信号，复杂化了对峰形和区域的定量分析，并妨碍了对非弹性XPS背景信号的精确分析。在某些情况下，内部分析仪散射可能使正确校准特定的仪器操作模式变得非常困难或甚至不可能。通常建议避免存在内部散射的模式。在这里，我们直接测量分析仪内的内部散射，并开发了一个通用且定量的模型，描述其对测量谱的贡献。我们展示了该模型的应用可以用于修正内部分析仪散射对谱的影响，并恢复潜在光电子谱的定量信息。此外，我们使用定量模型准确校准通常难以处理的镜头模式的传输函数。我们对传输函数校准的方法基于现有方法与我们内部分析仪散射模型的结合，且可以追溯到外部标准。该方法相对快速，无需假设或参数作为输入，且适用于用于XPS及其他光发射和Auger光谱的HEA。