镓-硫化合物作为潜在的单源MOCVD前驱体

新型分子镓-硫化合物通过简单高效的烷烃消除途径合成。这些化合物使用核磁共振(NMR)和红外光谱(IR)、质谱以及元素分析进行了表征。为了验证其作为金属有机化学气相沉积(MOCVD)镓硫(GaS)单源前驱体(SSP)的应用潜力，利用热重分析(TGA)/差示扫描量热法(DSC)研究了其热性能。此外，我们通过X射线衍射(XRD)确定了选定例子的单晶分子结构。选定SSP在c面蓝宝石上的沉积和分解行为利用温度程序脱附(TPD)、X射线光电子能谱(XPS)和Auger电子谱(AES)进行了研究，确认了含镓硫的层的形成。