薄膜生长早期阶段的原子过程

从气相沉积的原子形成薄膜的过程本质上是一种非平衡现象，由动力学和热力学之间的竞争所主导。只有在理解这种竞争后，才能精确控制生长，从而控制沉积薄膜的性质。在此探讨了薄膜生长最重要的动力学机制的原子特性。这些机制包括在台阶上的原子扩散、沿着台阶扩散以及岛角周围的扩散；稳定核的成核和动态；原子附着于台阶和岛屿及其脱附；以及层间质量输送。简要介绍了操控生长动力学以选择所需生长模式的方法。