一种具有超过一百万室温品质因子的兆赫纳米机械谐振器

我们展示了高纵横比拉伸应力氮化硅线谐振器的制造与操作。我们探索了小截面（约100nm）和长长度（可达325μm）的参数空间，证明了可以使用内部拉伸应力材料通过标准湿法释放工艺制造出这种高纵横比的谐振器。在高于1MHz的频率下，室温下的品质因子超过一百万。展示了这种高品质因子的弯曲谐振器在探测高频纳米尺度设备与稀薄气体相互作用方面的效用。