用化学气相沉积合成大面积MoS2原子层

在SiO2基片上通过化学气相沉积合成大面积MoS2原子层，反应物为MoO3和S粉末。光学、显微镜和电学测量表明合成过程导致MoS2单层的生长。透射电子显微镜（TEM）图像验证了合成的MoS2薄片具有高度晶体结构。