具有氮化硅膜的量子电机械系统在3D环隙腔中的基态冷却

腔电（光）力学为我们提供了一种量子工具，以访问大型物体中的机械模式。在这里，我们开发了一个量子电机械系统，其中SiNₓ膜的一个振动模式耦合到一个三维环隙超导微波腔中。机械可变形的窄间隙电容器中的电场的紧密限制在红色边带泵浦场下实现了量子强耦合范畴，并实现了机械模式的量子基态冷却。我们还展示了两个机械模式之间的强耦合，这种耦合是由双音调参数驱动引起，并由腔内的虚光子介导。