激光干涉光刻——一种制备可控周期性结构的方法

微观结构决定宏观功能。可控的周期性结构赋予表面特定的功能，例如可控结构色、润湿性、防冰/防霜、减摩以及硬度增强。目前，可以制备出多种可控的周期性结构。激光干涉光刻（LIL）是一种无需使用掩模即可在大面积上简便、灵活且快速制备高分辨率周期性结构的技术。不同的干涉条件可以产生多种多样的光场。当使用 LIL 系统对基底进行曝光时，可以制备出多种周期性织构化结构，例如周期性纳米颗粒、点阵列、孔阵列和条纹。利用其大焦深优势，LIL 技术不仅可用于平面基底，还可用于曲面或局部曲面基底。本文综述了 LIL 的原理，并探讨了空间角、入射角、波长和偏振态等参数如何影响干涉光场。同时还介绍了 LIL 在功能表面制备中的应用，例如抗反射、可控结构色、表面增强拉曼散射（SERS）、减摩、超疏水性和生物细胞调控。最后，我们提出了 LIL 及其应用中面临的一些挑战和问题。