使用定向氮化铝薄膜制成的柔性压电压力传感器，基于聚对苯二甲酸乙二醇酯薄膜

我们研究了在聚对苯二甲酸乙二醇酯（PET）薄膜上制备的C轴定向氮化铝（AlN）薄膜的高灵敏度压电响应。这些AlN薄膜采用近室温的射频磁控溅射法沉积。AlN薄膜的C轴垂直于PET薄膜的表面。由AlN和PET薄膜组成的传感器像PET薄膜一样柔性，电荷与压力在0到8.5MPa的宽范围内线性成正比。传感器能够响应0.3到超过100Hz的频率，通过将传感器夹在拇指和中指之间可测量清晰的人类脉冲波形。脉冲波形的分辨率可与在10kPa压力水平下的血压计相媲美。我们认为传感器高性能的来源是偏转效应、AlN层的薄厚和高弹性模量，以及PET薄膜的薄厚和低弹性模量。