微加工共轭聚合物驱动器

共轭聚合物驱动器可以在水性介质中操作，这使它们在芯片实验室和生理条件下的应用中具有吸引力。在这些条件下，最稳定的共轭聚合物之一是聚吡咯，它可以通过标准光刻技术进行图案化。我们实验室已微加工出聚吡咯-金双层驱动器，这些驱动器能够从晶圆的平面上弯曲，能够用于移动和定位其他微组件。在这里，我们回顾了这些微驱动器的当前状态，概述了用于制造它们的方法。我们描述了已演示的设备及一些潜在的未来应用。