采用能量粒子沉积的氮化碳：一个双相系统

通过三种不同方法沉积的氮化碳薄膜已使用原位Auger电子谱和外部X射线光电子谱（XPS）以及Rutherford反向散射光谱进行了分析。所有27个样品的XPS数据表明，这些薄膜的组成相似，由两相组成。一相的化学计量接近C₃N₄，并被识别为四面体成分。另一相的化学计量从C₅N到C₂N变化，主要被识别为sp^2键合结构。对于氮/碳比为1的薄膜组成，四面体键合成分在薄膜氮含量增加时仅适度增长。