我们提出了一种新颖的聚焦离子束(FIB)方法(METIS-Fa:使用In夹心-FIB方法对电子透明材料进行多技术测量),用于从约70至100 nm薄的透射电子显微镜(TEM)FIB箔片制备几何对称的原子探针断层扫描(APT)针。METIS-Fa方法利用FIB仪器和铟来增强TEM箔片,以便后续生产APT针。这种方法首次使得几何对称APT样品准备成为可能,允许在相关的、特定位置的TEM和APT研究中为每种技术提供最佳条件,成功率达到66%(共九根针)。METIS-Fa在合成玄武岩硅酸盐、环氧树脂、陆地硅酸盐(圣卡洛斯橄榄石)和氧化物(铝土矿)、来自米勒山脉(MIL)090019和Acfer 094的陨石硅酸盐,以及来自阿兰山(ALH)77307陨石的前太阳星尘颗粒等材料上进行了测试。这些外星颗粒展示了定位单个颗粒(>100 nm大小)的能力。本研究中提供的高质量TEM和APT数据证明了该方法的重复性和优点。METIS-Fa为有机和无机材料提供了原子级、微量元素和矿物学表征,广泛适用于材料科学、地球科学、行星科学和医学科学。
Nevill等(周二)研究了这个问题。