光子晶体硅光调制器：10 Gb/s 的载流子注入和耗尽

我们在200微米的光子晶体硅光调制器中演示了10 Gb/s的调制，涵盖载流子注入和耗尽模式。特别是，这是在这种长度的马赫-曾德型调制器中首次在耗尽模式下演示10 Gb/s调制且没有预加重，尽管适度的预加重可以改善信号质量。这得益于利用光子晶体波导的慢光特性，其中群折射率ng约为30，与肋波导器件相比，调制效率提高了约7倍。我们观察到在注入模式和耗尽模式下，驱动电压低至1.6 V和3.6 V峰值-峰值下均实现了10 Gb/s的调制。