用于超高温应用的压电加速度计

高温传感器对航空航天及能源相关产业至关重要。在本文中，利用 YCa4O(BO3)3 (YCOB) 单晶制备了一种高温单片压缩模式压电加速度计。在高达 1000 °C 的温度以及 100–600 Hz 的频率范围内对该传感器的性能进行了测试。结果发现，该加速度计原型在所测温度和频率范围内具有 2.4±0.4 pC/g 的灵敏度，表明其温度系数较低。此外，该传感器在 900 °C 延长停留时间下表现出良好的稳定性，表明 YCOB 压电加速度计是高温传感应用中极具前景的候选器件。