一种通过非对称分裂环谐振器重构的微加工可重构超材料

摘要：介绍了一种微加工的可重构超材料，其单元格由一对非对称分裂环谐振器（ASRR）组成；一个固定在基底上，而另一个则以可移动框架的形式模式化。可重构超材料及其支撑结构（如微作动器、锚点、支撑框架等）采用深反应离子刻蚀（DRIE）技术在绝缘体上的硅片上制造。通过调整两个ASRR之间的距离，可以利用微加工作动器连续调节偶极子-偶极子耦合的强度，从而实现电磁响应的定制。单元格的重构赋予微加工可重构超材料独特的优点，如在法向入射下的电磁响应和共振频率的宽调谐（在横电极化和横磁极化下分别测量为31%和22%）。重构也可以实现极化依赖状态和极化独立状态之间的切换。凭借这些特性，微加工可重构超材料可能在变换光学设备、传感器、智能探测器、可调频率选择性表面和光谱过滤器等领域具有潜在应用。