基于绝缘体上硅的器件波导中的高品质因数光学谐振器

本文描述了基于绝缘体上薄硅材料的插槽波导几何形状的高-Q椭圆谐振器的设计、制造和表征。在这些过滤器中测得的光学品质因数高达27000，并且我们基于谐振器测量估计插槽波导的损耗为−10 dB/cm。这些波导能够在纳米尺度内将光浓缩到非常高的光学场，并显示出在低折射率材料中束缚光的前景，具有光调制、非线性光学和光传感等潜在应用。