Nutzung von KI in der Entwicklung von Halbleiterprozessen

Die Entwicklung von Halbleiterprozessen stellt eine enorme Gelegenheit für KI-gestützte Ansätze dar, die sich in der Automatisierung routinemäßiger Aufgaben und der Erkennung von Mustern in Daten hervortun. Mit dem richtigen Toolset können Prozessingenieure KI-Modelle in ihrer täglichen Entwicklung nutzen. Dennoch müssen mehrere wesentliche technische Herausforderungen bewältigt werden, um KI erfolgreich in einer Halbleiterfertigungsumgebung zu implementieren. Beispielsweise sind die Anforderungen an Modelle und die gewünschten Lernprozesse ganz anders, wenn man die Bedürfnisse von Prozessingenieuren betrachtet, die F&E, Technologie-Ramp oder Hochvolumenfertigung durchführen. Darüber hinaus bleibt der Schutz von Daten eine drängende Problematik. Die meisten KI-Modelle stützen sich auf große Datenmengen, die nicht zwischen Herstellern geteilt werden können. In diesem Vortrag werden wir die wichtigsten Innovationen von SandBox in diesen Bereichen überprüfen. Wir werden kritische Anwendungen für die Optimierung der Musterung, Ätzung und Ablagerungseinheiten sowie neue Möglichkeiten zur Prozessko-Optimierung behandeln.