Comment obtenir et utiliser la microscopie de projection aux rayons X dans le MEB

Résumé Le faisceau d'électrons primaire d'un MEB est utilisé pour générer une source ponctuelle de rayons X, permettant la microscopie aux rayons X dans le MEB. L'appareil pratique décrit s'adapte à la chambre d'échantillon d'un MEB. Les réglages précis et reproductibles du support d'échantillon et du porte-films permettent de prendre deux micrographies aux rayons X, par exemple des stéréo-micrographies, en un seul passage sans re-pression de la chambre d'échantillon. En comparant les micrographies aux rayons X et aux MEB du même échantillon dans la même position, il est possible d'obtenir des informations supplémentaires concernant la morphologie de surface et la structure interne d'un échantillon.