ロッチングロジックに適したダンプ三接合干渉計

この論文では、LSIロッチングロジックに適したダンプ三接合干渉計の設計、製造、特性評価について説明します。ジョセフソン干渉計の高速性と低消費電力は、ロジックアプリケーションに理想的なデバイスです。しかし、固有の高Q値は、準粒子曲線において電流ステップとして現れる共鳴を引き起こします。これらの電流ステップが制御されないと、ロジック回路の適切な動作に干渉する可能性があります。研究により、干渉計のインダクタンスを小さな抵抗でシャントすることで、これらの共鳴が効果的にダンプできることが示されています。この研究では、干渉計ループを基板平面に平行に配置し、ジョセフソン接合をまとめて配置することで干渉計を製作しました。これにより、対電極に関連するループインダクタンスが最小化され、その結果、基底電極にのみ接続された金属科学的に適合した短い抵抗器で十分なダンピングが達成できるようになりました。2.5μm幅のコントロールライン2本を持つこの構造の面積は0.008mm²でした。ジョセフソン接合の直径は5μmでした。これらの構造の測定されたダンプ共鳴特性と閾値特性（それぞれI g (V g )およびI m (I c )）は、理論と非常によく一致しました。