垂直に積み重ねられたインジウム・ガリウム・亜鉛酸化物ベースの三次元統合回路

Key Points

• 本研究の目的は、メモリ内計算機能を持つインジウム・ガリウム・亜鉛酸化物を使用した3D統合回路の機能性を実証することです。
• インバータモジュールとDRAMコンポーネントを用いて、機能的なメモリ内計算3D回路を実証しました。
• 回路設計にビアホール相互接続を利用しました。
• 酸化物半導体の統合に焦点を当てました。
• 3D回路内でインバータモジュール（層1-2）とDRAMコンポーネント（層3-4）を成功裏に統合しました。
• 実証された回路は、エレクトロニクスにおける高度な応用の可能性を示しています。