SinCUT 기반 GLV 병렬 스캔 리소그래피 마이크로 구조 지형 제어를 위한 3D OPC 방법

단일 이미지 대비 비짝 맞춤 변환(SinCUT) 기반의 3D 광학 근접 보정(OPC) 최적화 방법이 GLV 병렬 스캔 디지털 3D 리소그래피에서 3D 마이크로 구조의 정밀 제작을 위해 제안된다. 이 방법은 쌍곡선 마이크로 볼록 렌즈 배열의 최적화된 제작에 적용된다. 렌즈의 제작 정확성이 입증되어 형태의 평균 제곱 오차(MSE)가 상당히 감소하는 것을 보여준다. 렌즈 높이가 8.5 µm일 때, 렌즈 형태의 평균 높이 오차는 5% 미만이며, MSE는 0.727에서 0.0329로 감소하여 92.79%의 감소율을 나타낸다.