封面展示了 SiO 2 化学机械抛光过程，其中旋转垫和浆料将纳米颗粒磨料输送至表面。前景中具有不同形貌的三种陶瓷纳米颗粒代表了为提高抛光性能而开发的迅速发展的多样化磨料设计。更多信息可参见 D.-H. Ha 及其合作者的综述（DOI: 10.1002/chem.202502584 ）。
Share your take
Add a clinician perspective alongside expert commentary.
Lee et al. (Mon,) 研究了这一问题。