Key points are not available for this paper at this time.
La lithographie par faisceau d'électrons (EBL) est l'un des outils de choix pour écrire des micro- et nanostructures sur une grande variété de matériaux. Cela est principalement dû au fait que les machines EBL modernes sont capables d'écrire des structures de la taille du nanomètre sur des zones allant jusqu'à mm(2). L'objectif de cette contribution est de donner des bases techniques et pratiques dans cette technique de nanofabrication extrêmement flexible.
Matteo Altissimo (mar,) a étudié cette question.
Synapse has enriched 5 closely related papers on similar clinical questions. Consider them for comparative context: