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우리는 3차원 직접 레이저 쓰기 중 노출된 부피에서 현장 국부 온도 상승을 측정하는 방법을 제시합니다. 이 방법은 공초점 스킴에서 NaYF4:Yb3+, Er3+ 공동 도핑 나노크리스탈의 발광을 감지하는 데 기반합니다. 정상 쓰기 영역에서 몇 K 이하의 온도 상승을 발견했습니다. 포토레지스트가 과다 노출되면 몇 백 K의 유의미한 온도 변화가 관찰될 수 있습니다.
Mueller et al. (Mon,)이 이 문제를 연구했습니다.
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