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多変量解析の一種であるクラスター分析は，与えられたデータ群の中から似たもの同士を集めて群（クラスター）に分類する方法である．多量のデータをクラスター分析で分類することは既に各分野で頻繁に実施されており，表面分析にも今後多用されることが予測される．ここでは，クラスター分析を基礎から解説するとともに，実例としてtof-Simsデータをクラスター分析により解析した結果を示す．
Yoshihara et al. (Wed,) studied this question.