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El análisis con resolución de profundidad de estructuras multicapa se lleva a cabo empleando Espectroscopía de Ruptura Inducida por Láser (LIBS) en combinación con interferometría de luz blanca, lo que permite un monitoreo de profundidad preciso y en situ. El sistema propuesto combina la configuración óptica de LIBS con el interferómetro y es capaz de seguir el experimento LIBS pulso a pulso, proporcionando mediciones de profundidad precisas en situ, así como un mapeo detallado del perfil del cráter. La información elemental extraída del espectro LIBS se puede correlacionar directamente con la medición de profundidad y topografía, resultando en un mapeo preciso del perfil elemental a lo largo de la normal a la superficie de la muestra. Se presentan detalles sobre la configuración óptica junto con varios ejemplos de análisis del perfil de profundidad elemental; se discuten problemas relacionados con la velocidad de monitoreo de profundidad y las limitaciones de la configuración.
Papazoglou et al. (Jue,) estudiaron esta cuestión.