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Dieses Papier berichtet über den erfolgreichen Nachweis von Ge/ZnS-basierten Fabry-Perot-Filtern, die im Langwellen-Infrarot (LWIR) betrieben werden. Die Eignung von thermisch abgeschiedenem Ge und ZnS als Dünnfilmspiegelmaterialien für mikromachinierte LWIR-Fabry-Perot-Filter wurde umfassend untersucht, und es wurde gezeigt, dass eine Filmwachstentemperatur von über 150 °C entscheidend für die Ablagerung langlebiger ZnS-Filme ist. Die optischen Konstanten von Ge- und ZnS-Filmen im LWIR-Bereich zeigen, dass das Materialpaar einen hohen Brechungsindex-Kontrast und eine ausgezeichnete LWIR-Transparenz aufweist. Feste LWIR-Fabry-Perot-Filter mit einem 150 μm großen kreisförmigen Einzellagen-Ge-Oberflächen-Spiegel und einem vierlagigen Ge/ZnS/Ge/ZnS-Unterspiegel wurden hergestellt. Die Krümmung im schwebenden Oberflächen-Spiegel wurde mithilfe einer dünnen SiNx-Stresskompensationsschicht korrigiert. Nach der Krümmungskorrektur wurde eine Spiegelflachheit von 550 nm erreicht, und der Filter zeigte eine Spitzenübertragung von 60 % mit einer Full-Width at Half-Maximum von 700 nm sowie eine Unterbandabweisung von 24:1.
Mao et al. (Do,) untersuchten diese Frage.