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Um Mikroelektronik mit höherer Dichte herzustellen, werden aktuelle Fortschritte in der Herstellung solcher 3D-Geräte diskutiert. Darüber hinaus betont das Papier die Bedeutung neuartiger Materialien und Architekturen, wie monolithische 3D-Integration und heterogene Integration, um diese Herausforderungen zu bewältigen. Wir heben die Wichtigkeit hervor, komplexe Probleme anzugehen, um eine bessere Leistung und höhere Integrationsdichte zu erreichen, was eine wichtige Rolle bei der Gestaltung der nächsten Generation von Mikroelektronikgeräten spielen wird. Die vielschichtigen Herausforderungen, die mit der Entwicklung von Mikroelektronikgeräten der nächsten Generation verbunden sind, werden ebenfalls hervorgehoben.
Singh et al. (Mon,) untersuchten diese Frage.