超材料与超表面：从材料、机制和先进半导体设备的角度进行的综述

在人类历史上，光、电和热的控制演变成为电气和电磁技术各种创新和发展的基石。无线通信、激光和计算机技术都是通过改变光及其他能量形式的自然作用方式以及控制它们来实现的。在纳米尺度上，为了控制光和热，在过去二十年中已经开发出了成熟的纳米结构制造技术，并实现了一系列突破性工艺。光子晶体、纳米光刻、等离子现象和纳米颗粒操控是这些技术成功应用的主要领域，促使了一个新兴的材料科学分支——超材料的出现。超材料和功能性材料的发展策略集中在物质结构本身上，通过操控光——更广泛地说，电磁波——产生了非常规和独特的电磁特性。超材料的纳米结构具有精确的形状、几何、大小、方向和排列。这些配置影响电磁光波，产生难以或甚至不可能用自然材料获得的新颖特性。本综述深入探讨了这些超材料和超表面，旨在为这一激动人心且快速发展的主题的未来研究提供坚实的参考。