Key points are not available for this paper at this time.
تفتح تكنولوجيا الميكرو تصنيع العديد من الفرص الجديدة للأنظمة الضوئية والإلكترونية الضوئية. فهي تقدم قدرات غير مسبوقة في توسيع وظيفة الأجهزة الضوئية وتصغير الأنظمة الضوئية. يمكن دمج الهياكل المتحركة، والمحركات الدقيقة، والعناصر الدقيقة الضوئية بشكل مدمج على نفس الركيزة باستخدام تقنيات المعالجة الدفعة. في هذه الورقة، نستعرض التقدمات الأخيرة في هذا المجال الناشئ بسرعة. يتم مراجعة تقنيات الميكرو تصنيع الأساسية للكتل والأسطح القابلة للتطبيق على الأنظمة الضوئية. يتم تقديم طاولة الميكرو البصرية في الفراغ الحر ومفهوم المحاذاة الضوئية المسبقة. يتم وصف أمثلة لأجهزة ضوئية مصنعة بالميكرو، بما في ذلك المفاتيح الضوئية ذات الخسارة المنخفضة ونسبة التعاقد العالية، ونماذج منخفضة التكلفة، ومساحات مسح ميكانيكية صغيرة، ومواضع دقيقة XYZ ذات مسافة سفر كبيرة ودقة توجيه دقيقة. تم أيضًا إثبات الأنظمة المدمجة مثل وحدات التقاط أقراص ضوئية ذات شريحة واحدة ومترابط ذاتي بتردد فمتوثانية.
درس مينغ سي. وو (الأربعاء) هذا السؤال.
Synapse has enriched 5 closely related papers on similar clinical questions. Consider them for comparative context: