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在150–350 °C条件下，通过石英晶体微量天平（QCM）和四极质谱仪（QMS）研究了钛异丙醇与重水在二氧化钛原子层沉积（ALD）中的反应机理。温度对主要气体副产物（CH3）2CHOD的总量没有显著影响。在150–250 °C下，大约一半的配体在Ti(OCH(CH3)2)4脉冲与表面羟基反应中释放，另一半在水脉冲中释放。随着温度的升高，Ti(OCH(CH3)2)4开始热分解，从而影响生长机理。结果与早期的化学气相沉积（CVD）和ALD研究进行了比较.