Hochleistungsfähige harte magnetische NdFeB-Dickfilme zur Integration in mikroelektromechanische Systeme

5 μm dicke NdFeB-Filme wurden auf 100mm Si-Substraten mittels Hochgeschwindigkeits-Sputtern (18μm∕h) abgeschieden. Die Filme wurden bei ⩽500°C abgeschieden und anschließend bei 750°C für 10 Minuten annealiert. Während Filme, die bei Temperaturen bis zu 450°C abgeschieden wurden, äquiaxe Körner aufweisen, deren Größe mit steigender Abscheidetemperatur abnimmt, haben die bei 500°C abgeschiedenen Filme säulenförmige Körner. Die remanente Magnetisierung außerhalb der Ebene steigt mit der Abscheidetemperatur und erreicht einen Maximalwert von 1,4T, während die Koerzitivkraft konstant bei etwa 1,6T bleibt. Das erreichte maximale Energieprodukt (400kJ∕m3) ist vergleichbar mit dem von hochwertigen gesinterten NdFeB-Magneten.