العرض الأولي لجيروسكوب حلقي اهتزازي تحريضي مصنوع من السيليكا المنصهرة

تقدم هذه الرسالة جيروسكوب حلقي اهتزازي تحريضي (IVRG) مصنوع من السيليكا المنصهرة. يتم تصنيع الرنان الخاص بالجيروسكوب على شريحة سيليكا منصهرة بحجم 4 بوصات. مستفيدًا من تقنية النقش المدعوم بالليزر (LIAE)، تتمتع الهياكل الدقيقة على شريحة السيليكا المنصهرة بنسبة عرض إلى ارتفاع عالية جدًا تصل إلى 60.2 ومتوسط خشونة جدرانها الجانبية 0.41 ميكرون. يمكن استخراج الفولتية مباشرة من الرنان دون الحاجة إلى استخدام محول C/V. يتمتع هذا الجهاز بعامل جودة يبلغ 1007196 و1104764 وتردد رنيني يبلغ 17950.77 هرتز و17950.86 هرتز بعد تغليفه بالفراغ. على الرغم من أن الجيروسكوب لديه انحراف انحداري يعتمد على الزاوية أقصى يبلغ 0.42 درجة/ث عند تشغيله في وضع دمج المعدل، إلا أن خطأ تتبع الزاوية هو فقط 4.3° (34.1ppm) بعد 30 ثانية من اختبار الدوران عالي السرعة.