可调极低阈值垂直腔激光二极管

通过质子注入和湿化学蚀刻制造了亚毫安阈值波长可调的三端垂直腔激光二极管。直径为8微米的激光二极管展现出创纪录的低阈值电流650微安，并在连续波条件下输出功率可达170微瓦，在脉冲激励下为0.4毫瓦。直径约12微米的稍大器件在脉冲条件下单模发射功率可达1.85毫瓦。发射波长约为970纳米，与三层活性InGaAs量子井的光谱增益相匹配。二维阵列中的单个元件可通过向相应的顶层电极施加70微安的独立调谐电流，连续调谐超过2.2纳米。调谐电流和激光电流是独立控制的。